集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

單通道直冷機Single Channel Chiller作為半導體行業溫控的關鍵設備之一，其技術架構圍繞高精度溫度控制需求展開。

一、單通道直冷機的技術架構與溫控原理  

單通道直冷機Single Channel Chiller采用直冷式制冷系統，將制冷劑直接輸出至目標控制元件蒸發換熱，較傳統流體輸送換熱方式提升，特別適用于換熱器換熱面積小但換熱量大的場景。全密閉循環系統是單通道直冷機的核心設計之一。整個系統在低溫環境下不吸收空氣中水分，不揮發導熱介質，并通過自動補充導熱介質維持循環穩定。循環液回路采用磁驅泵，避免軸封泄漏風險，搭配不銹鋼、銅、陶瓷等材質的管路，確保系統在寬溫范圍內長期穩定運行。

二、核心優勢：從精度控制到系統適配的多角度能力  

1、寬溫域高精度控溫性能  

單通道直冷機Single Channel Chiller具備覆蓋低溫到高溫的溫控能力，滿足不同熱負荷場景需求。  

2、快速溫變與沖擊響應能力  

在半導體器件可靠性測試中，設備的溫變速度直接影響測試效率。快速響應依托于變頻壓縮機與電子膨脹閥的協同控制，配合射流換熱技術，縮短升/降溫時間的同時，通過閉環反饋實時監控被測元件溫度，確保測試數據準確。  

3、模塊化設計與系統兼容性  

單通道直冷機采用模塊化設計，只需一臺備用機組即可實現系統快速切換。在介質兼容性方面，設備支持硅油、乙二醇水溶液等多種載冷劑，滿足不同工藝對導熱介質的需求。管路內部材質與密封設計進一步保障了與各類介質的長期兼容。  

三、典型應用場景：半導體制造全流程溫控支撐  

1、半導體薄膜沉積與工藝控溫  

在CVD/PVD等薄膜沉積工藝中，單通道直冷機為反應腔提供穩定溫控環境。通過控制反應腔壁溫度，避免反應物異常沉積，保障晶圓表面薄膜均勻性。而在半導體專用溫控設備中，設備通過單一介質實現連續控溫，無需更換導熱介質，簡化工藝操作流程。  

2、芯片測試與失效分析  

射流式高低溫沖擊測試機可模擬溫度循環，通過PLC程序控制溫度沖擊參數，用于芯片電性能測試、失效分析及可靠性評估。

3、電子元器件與材料測試  

具備單獨制冷循環風機組，可連續長時間工作且自動除霜，除霜過程不影響庫溫，滿足元器件在苛刻溫度下的性能測試需求。

單通道直冷機Single Channel Chiller的溫控精度與穩定性成為工藝優化的關鍵因素之一。從單機復疊制冷技術實現低溫控制，到高低溫快速升降溫技術，這類設備通過硬件設計與算法優化的結合，在半導體產業鏈中，推動制造流程的可靠性與一致性提升。