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封裝可靠性測試設備 制程驗證chiller

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。封裝可靠性測試設備 制程驗證chiller

  • 產(chǎn)品型號:FLTZ-403
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-27
  • 訪  問  量:453
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

封裝可靠性測試設備 制程驗證chiller

封裝可靠性測試設備 制程驗證chiller


  在薄膜沉積工藝中,Chiller(冷卻機)的應用影響比較大,因為準確的溫度控制可以確保薄膜的質量和均勻性。以下是一些薄膜沉積工藝中Chiller的應用案例:

  案例一:物理氣相沉積(PVD)工藝冷卻

  應用描述:PVD過程中,如磁控濺射或蒸發(fā)鍍膜,靶材和基底需要維持在特定的溫度范圍內(nèi)以保證薄膜的質量和附著力。

  解決方案:使用Chiller為PVD設備提供準確的溫度控制,通過冷卻循環(huán)系統(tǒng)維持靶材和基底的溫度。

  效果:薄膜沉積工藝冷卻chiller通過準確的溫度控制,提高了薄膜的均勻性和附著力,減少了應力和缺陷的產(chǎn)生。

  案例二:化學氣相沉積(CVD)工藝冷卻

  應用描述:CVD過程中,如低壓CVD或等離子增強CVD,反應室的溫度控制對于薄膜的生長速率和質量影響比較大。

  解決方案:采用Chiller為CVD反應室提供冷卻,以維持恒定的生長溫度并控制反應速率。

  效果:薄膜沉積工藝冷卻chiller有效的溫度控制提高了薄膜的生長速率和均勻性,減少了缺陷和雜質的引入。

  案例三:原子層沉積(ALD)工藝冷卻

  應用描述:ALD過程中,準確的溫度控制對于實現(xiàn)原子級別的薄膜厚度和均勻性影響比較大。

  解決方案:使用Chiller為ALD反應室提供準確的溫度控制,以實現(xiàn)準確的薄膜厚度和均勻性。

  效果:薄膜沉積工藝冷卻chiller通過準確的溫度控制,實現(xiàn)了原子級別的薄膜厚度和均勻性,提高了器件的性能和可靠性。



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