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如何確保半導體反應腔室控溫系統的穩定運行

 更新時間:2022-07-06 點擊量:946

  半導體反應腔室控溫系統是既可以加熱又可以冷卻的集成設備,采用機械原理快速升高和降低溫度。它不僅使溫度迅速升高,而且具有較大的加熱和冷卻能力,被廣泛應用于生物,化學工業,石材,科學研究,醫學等領域,為各個行業的快速發展提供了保證。

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  1、半導體反應腔室控溫系統的整體設備為全封閉系統,設備不會因加熱而增加壓力,將根據溫度變化調節傳熱介質,使整個設備運行平穩。但是,某些意外故障將導致溫度緩慢變化,這種情況持續一段時間,將導致設備損壞,甚至直接損壞核心組件。

  2、當遇到降溫慢的問題時,可以戴手套觸摸主機壓縮機的排氣口,看看排氣管的溫度是否不高,然后再觸摸吸氣管。查看吸水管是否結霜,如果滿足了這兩點,則設備缺少制冷劑,請參閱設備隨附的操作手冊以添加制冷劑,確保選擇合格的制冷劑。

  3、除了制冷劑引起的非冷卻問題外,設備制冷系統,傳感器系統,控制系統,一個或多個系統也可能存在問題。您可以先關閉設備,然后啟動設備以查看是否可以解決問題。如果不是,請依次檢查每個系統。非人員請勿打開設備,以免造成二次損壞。

  4、確認設備的相關閥門狀態是否滿足啟動要求,并打開電源。開關以使電源控制指示燈點亮。啟動冷卻水泵,冷卻塔風扇和制冷劑水泵,您應該能夠看到三個設備的操作指示燈亮起。

  5、檢測半導體反應腔室控溫系統的潤滑油溫度,油泵開始運行后,將能量調節控制閥置于減荷位置,并確認滑閥處于零位置以調節油壓控制閥。

  6、設備啟動并投入運行后,為了以確保設備正在運行,另需查驗制冷劑水泵,冷卻水泵,冷卻塔風扇在運行過程中的聲音和振動,水泵的出口壓力,水溫等指標是否在正常工作參數范圍內。

7、壓縮機運行過程中,電機的工作電流是否在規定范圍內,如果電流太大,則應進行調整以減少負載運行,以防止電動機因過大的運行電流而燒壞,以及在運行期間壓縮機的聲音和振動是否正常。


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