半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

　　半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機，它是一類冷卻循環水機器設備，半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機是一類能出示控溫、恒流電源、恒流源的冷卻循環水機器設備。

　　(1)、制冷溫度較高，冷疑實際效果欠佳。

　　制冷機組規定的冷卻循環水額定值工作狀況在30~35℃，溫度高，排熱欠佳，必定造成 冷疑工作壓力高，這類狀況通常產生在高溫時節。導致溫度高的緣故可能是：冷卻塔常見故障，如離心風機未開乃至翻轉，旋轉噴頭不轉，具體表現為冷卻循環水溫度很高，并且迅速上升；外部溫度高，水道短，可循環系統的出水量少，這類狀況冷卻循環水溫度通常保持在較高的水準，能夠采用提升儲蓄水池的方法給予處理。

　　(2)、制冷出水量不夠，達不上額定值出水量。

　　具體表現是發電機組出入水壓差縮小（與系統軟件資金投入運作之初的壓差對比），溫度差變大。導致出水量不夠的緣故是系統軟件少水或存在汽體，解決方案是在管路高空安裝自動排氣閥開展排氣管；管道混合器阻塞或采用太細，透水性工作能力受到限制，應取用適合的過濾裝置并按時清除濾網；離心水泵采用較小，與系統軟件不配套設施。

　　(3)、冷卻器積垢或阻塞。

　　凝結水通常用飲用水，在30℃以上時非常容易積垢，并且因為冷卻塔是開啟式的，立即曝露在空氣中，塵土臟東西非常容易進到冷卻系統，導致冷卻器臟堵，傳熱總面積小，效率低，并且也危害出水量。

　　(4)、冷媒添加太多。

　　這類狀況通常產生在檢修以后，具體表現為吸排氣管工作壓力、均衡工作壓力都較高，制冷壓縮機運作電流量也較高。應在額定值工作狀況下依據吸排氣管工作壓力和均衡工作壓力及其運作電流量放氣，直到一切正常。

　　(5）、冷媒內沾有汽體、N2等不凝固汽體。

　　這類狀況通常產生在檢修后，真空包裝。只有排出去，再次真空包裝，再次添加冷媒。

　　(6)、電氣設備常見故障造成的亂報。

因為髙壓維護電磁閥返潮、接觸不良現象或毀壞，模塊電子板返潮或毀壞，通訊常見故障造成亂報。